真空爐檢漏主要有兩種方法：噴射法和吸嘴法。注入法是一種傳統的泄漏檢測方法。將爐內真空，在爐外加氦（如連接氦質譜儀），然后觀察結果。另一種方法是吸嘴檢測法，適用于測試對象無法抽真空的情況。使用此方法時，需要向被測對象中填充泄漏氣體（如氦氣）。檢測對象包括水冷卻器、水冷卻器、給水器等。當檢測對象充滿泄漏氣體時，使用傳感器檢查外部是否有氣體泄漏。氦質譜儀也可用于這種檢測方法。

惰性氣體泄漏檢測也很重要。這是因為整個補給系統（從液化氣儲存系統到真空爐）的泄漏率需要為零。如果惰性氣體從供氣系統或爐體上的氣閥泄漏，真空爐將出現錯誤的跡象，如抽氣效果差、密封性差、極限真空度差、難以正常排氣、回流等。

惰性氣體泄漏也有兩種常見的檢測方法，即薄膜（肥皂泡）泄漏檢測和真空泄漏檢測。一般來說，薄膜檢漏法是很簡單、很快的高壓惰性氣體檢漏方法。在已知可疑區域噴灑泄漏指示液。如果在任何檢查部位產生氣泡，則可以知道發現泄漏。

真空檢漏是一種更精確的方法。將液氮或液態氬儲存系統與真空爐分離，確保整個系統處于真空狀態，然后使用氦質譜儀檢查系統的泄漏情況。進行真空檢漏時，應：

1.關閉外部氣閥，斷開外部液氣系統與蒸發器、補給儲罐、真空爐及所有配套的減壓和補給管線的連接。

2.使用真空爐的正常抽氣系統對爐進行真空。

3.給補給儲罐減壓。

4.手動打開爐體上的補給閥，打開補給閥。該步驟應由經驗豐富的專家按照安全規定執行。

一旦打開再充氣閥并將再充氣罐減壓至大氣壓，真空爐開始從管道中提取氣體。從儲氣罐和蒸發器到關閉的外部氣閥，氣體將被泵出。然后，可以使用真空爐的排氣系統對整個補給系統進行排氣，使整個系統達到真空狀態。接下來，你應該使用氦質譜儀來檢測系統中的泄漏。

在完成真空爐和惰性氣體的所有泄漏檢測后，需要逐個消除泄漏。真空爐設備是否漏氣，可根據真空爐的升壓率指標確定；應提醒的是，在測試壓力上升率時，需要關閉真空泵，并在室溫下進行測量。測量壓力上升率的過程復雜且耗時。集成式氧探頭可直接測量真空爐中的氧含量。