真空爐檢修后，需要對真空爐進行干燥，并對真空爐進行真空檢漏。在真空爐干燥前，可用1000V兆歐表測試真空爐的絕緣，通常不小于2mΩ。真空爐的干燥分為三個階段：

① 排濕周期為O~200℃，即真空爐保溫層中水分和真空爐體中水分的排濕周期。需要檢查真空爐的真空度，保溫時間長。

② 真空爐排氣量大的溫度區一般在500℃左右。由于真空爐排氣量大，此時溫升不得超過50℃/h，保溫時間一般在60分鐘以上。

③ 保溫期約為1200℃。加熱時每升高100~200℃保溫一段時間。升溫過快容易損壞保溫層，導致真空爐排氣不充分。

（1） 編制真空爐使用維護操作規程，建立真空爐運行記錄和維修檔案，統計運行累計工時，加強真空爐日常維護，掌握設備技術狀態變化趨勢，盡快發現故障和損壞跡象，避免事故搶修的維修，根據真空爐的工作負荷和運行狀態，提前準備好真空爐維修備件，編制真空爐運行維護計劃。例如，真空爐加熱元件的使用壽命與許多因素有關，如工作溫度、真空爐中的產品介質、產品數量和操作。在每天24小時加工和生產的情況下，真空爐的加熱元件和隔熱板大約每兩三年更換一次。這取決于釬焊工作的類型和使用時間。真空爐在春季和秋季通常有許多泄漏故障。

在真空系統檢漏中，除臨時應急維修用真空泥漿外，如果有氦質譜檢漏儀，可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏。如果沒有氦質譜檢漏儀，可以用醫用針頭吸入乙醚，并將其射在可疑的泄漏點，以觀察真空計的讀數是否發生變化。還可以制作帶有真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管道進行檢漏。定期檢查真空泵油位和羅茨泵密封圈（如果發現真空泵的油位和羅茨泵的密封圈惡化，應定期檢查真空泵的油位，并且需要每周更換一次羅茨泵的油和密封圈的質量）。擴散泵油擴散泵有積碳，可通過化學酸洗進行清洗。

（2） 真空爐維修后，在使用初期應經常檢查。檢查真空爐表使用后的溫度是否與爐內實際溫度一致（定期校驗和校準真空表、溫控器、熱電偶、電壓表、電流表），檢查三相加熱器是否有過熱損壞、溫度不均或發白現象。對于三相高溫真空爐，當真空電阻爐容量超過100kW時，應在每相和每個加熱區域安裝電流表。發現真空爐溫度及儀表指示異常，應及時分析處理。

（3） 真空爐不能超載。真空爐的很高使用溫度是指真空中元件的允許表面溫度，而不是加熱材料的溫度或加熱元件周圍的溫度。需要注意的是，真空電熱元件本身的溫度比周圍介質溫度或加熱溫度高100℃。